用于薄膜厚度在线测量,能够实时检测薄膜的厚度, 为生产提供数据参考,以改善薄膜厚度的产品质量。 测量范围3-1000μm; 采用往复扫描测量方式,全幅扫描薄膜在线测量; 具备横、纵向闭环控制功能,实时控制薄膜横向及纵向的厚度。